我國真空測試計量領(lǐng)域首項ISO國際標準發(fā)布

　　2022年8月5日，真空技術(shù)行業(yè)中國主導制定的ISO 24477：2022《磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》(Vacuum technology - Vacuum gauges - Specifications , calibration and measurement uncertainties for spinning rotor gauges)正式發(fā)布實施。該標準定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的相關(guān)術(shù)語，規(guī)定了在應用過程中需要給定的參數(shù)和詳細的校準步驟，以及需要考慮的不確定度分量。

　　該標準由李得天院士掛帥，中國航天科技集團有限公司五院510所牽頭負責，東北大學、蘭州文理學院、沈陽真空技術(shù)研究所、北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國計量科學研究院等共同參與制定。ISO 24477：2022的發(fā)布，實現(xiàn)了我國在該領(lǐng)域國際標準方面“從0到1”的突破。

　　據(jù)了解，國際標準制定過程大致分為6個階段，即提案階段、準備工作草案階段、技術(shù)委員會草案階段、征詢意見草案階段、批準階段和印刷發(fā)行出版階段。一項國際標準從提出文稿到批準為標準大致需要36個月以上。

　　2019年6月，國際標準化組織真空技術(shù)委員會(ISO/TC112)在日本京都召開了工作年會?；?10所和李得天院士在真空測試領(lǐng)域的國際影響力，此次會議上中國爭取到ISO 24477國際標準的主導制定任務。

　　經(jīng)過歷時3年的精心組織實施，先后于2019年10月提交了工作草案(WD)并正式立項，2020年12月通過技術(shù)委員會草案階段(CD)投票，2021年8月進入征詢意見草案階段(DIS)，2022年3月進入批準階段(FDIS)，2022年8月進入最終印刷發(fā)行出版階段(ISO)。

　　此項標準在制定過程中，共有來自中國、德國、日本、美國、瑞士等計量技術(shù)機構(gòu)科研單位的幾十位專家學者參與了交流討論。團隊針對各國專家提出的意見建議逐一進行了答復并得到專家一致認可。

　　在全球認可和非認可的校準服務中，磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(magnetic suspension spinning rotor vacuum gauge)被廣泛用作標準真空計。ISO 24477：2022標準定義了磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的相關(guān)術(shù)語，規(guī)定了在應用過程中需要給定的參數(shù)和詳細的校準步驟，以及需要考慮的不確定度分量。以規(guī)范如何正確校準磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計，以及如何用作標準真空計。

　　這對于在所有應用領(lǐng)域進行的真空工藝過程，尤其是對于半導體工業(yè)、光伏、鍍膜工業(yè)、航空航天、核工業(yè)等高真空應用領(lǐng)域，能夠?qū)崿F(xiàn)真空量值溯源具有舉足輕重的意義。同時，也是對我國真空測試計量領(lǐng)域話語權(quán)和實力的肯定與展示。

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